SUSS 匀胶机台式加热板MicroTec HP8TT

‌SUSS 匀胶机台式加热板MicroTec HP8TT 

一、 产品概述‌
SUSS HP8TT 是一款专为研发（R&D）、实验室和小规模生产设计的台式手动热板。其核心设计目标是提供均匀的温度分布、高重复精度的加热斜坡，以确保工艺结果的稳定性和一致性。

‌二、 核心特点与优势‌

• ‌均匀加热‌：采用独特的盘内加热线圈布局（非传统加热棒），有效避免热点或冷点，实现温度均匀性。

• ‌高精度控制‌：配备专用触摸屏控制器，可编程加热斜坡（0-10 °C/分钟），支持多达200个配方，每个配方最多40个步骤，步骤时间可精确到1秒。

• ‌灵活兼容‌：与 SUSS 的 RCD8 涂胶显影平台或 LabSpin 系列工具匹配，具有相同的占地面积、外观和可靠性，可实现统一控制。

• ‌坚固易清洁‌：热板表面采用高性能保护涂层，增强机械和化学抵抗力，便于清洁。

• ‌标准提升针‌：标配提升针，便于安全、便捷地取放基板。

‌三、 主要技术规格 (HP8TT 基础系统)‌

• ‌型号‌：HP8TT (台式)

• ‌处理能力‌：支持直径最大200mm的晶圆或最大6" x 6"的基板。

• ‌温度范围‌：60 - 250 °C。

• ‌温度均匀性‌：120°C以下为 ±0.5°C，120°C及以上为 ±1%。

• ‌控制器‌：集成触摸屏控制器。

• ‌设备尺寸 (含控制器)‌：463 mm (长) x 378 mm (宽) x 628 mm (高)。

• ‌文档‌：包含洁净室纸质文档（操作手册、预防性维护手册、原理图）及电子版（CD）。

‌四、 可选功能‌

• ‌近接烘烤 (Proximity)‌：允许基板与热板表面在0.00 mm - 9.00 mm范围内无接触处理，基板在工艺过程中仅与提升针接触。

• ‌氮气吹扫‌：可手动调节流量（带数字显示），并可在配方编辑器中为每个步骤单独选择启用。

• ‌多种安装方式‌：除台式(TT)外，还可选工作台安装(BM)或独立式(T)。

• ‌封闭式双层盖‌：确保工艺条件稳定，并防止操作员意外触碰高温表面。

SUSS 匀胶机台式加热板MicroTec HP8TT