SUSS匀胶机 Labspin-8TT型号技术参数介绍

SUSS Labspin 8TT 匀胶机

‌一、 核心产品概述‌
Labspin 8TT是一款台式旋涂机，专为处理最大200毫米圆形或150毫米方形晶圆/基片而设计。

‌二、 主要特性‌

• ‌可调分配位置‌：可根据工艺需求调整涂布液的滴落位置。

• ‌支持水坑式显影‌：通过卡盘振荡功能，可减少显影时间。

• ‌具备去边珠功能‌：可去除旋涂后基片边缘的厚边（边珠）。

• ‌快速更换工艺碗‌：可拆卸的工艺碗便于在不同工艺间快速切换，避免交叉污染。

• ‌直连式中空轴电机‌：配备透明的液体分离器于真空管路中。

• ‌便捷废液管理‌：前面板设有废液瓶，便于取放和观察废液液位。

‌三、 基本系统配置‌
基本系统包含以下组件：

1. ‌旋涂模块‌

2. ‌控制单元‌

3. ‌安全玻璃制成的碗盖‌

4. ‌聚丙烯制成的工艺碗‌

5. ‌数字真空计‌

6. ‌安全特性‌：真空监控、盖板开启互锁。

7. ‌不锈钢台式机柜‌

8. ‌工具文档光盘‌（内含“EC符合性声明"）

‌四、 关键技术参数‌

• ‌电源‌：115/230 VAC；60/50 Hz；5/3 A 单相。

• ‌转速‌：50 - 99 rpm， 100 - 8,000 rpm（±1 rpm，使用200毫米卡盘时）。

• ‌加速度‌：4,000 rpm/秒。

• ‌旋转时间‌：1秒至999秒。

• ‌工艺配方‌：200个配方，每个配方最多40个步骤。

• ‌废液瓶容量‌：0.5升。

• ‌排气接口‌：PG11管。

• ‌机柜尺寸（宽 x 深 x 高）‌：350 x 446 x 430毫米（打开盖板时为691毫米高）。

‌五、 可选卡盘列表‌
文档列出了多种真空卡盘选项，适用于不同尺寸的晶圆（R2, R3, R4, R6, R8）或无定心销的特殊尺寸（真空区域直径3mm, 16mm, 30mm）。所有卡盘材料均为POM（聚甲醛），符合SEMI标准。